製品説明

プロセスの例題

電子の波状性の証明を強く望んでいたので， 電子透過薄膜を作る技術は電子顕微鏡発明より早かったです。 ナノ技術は，化粧品，食品医薬品，運道具，反物， そして半導体などの業界にとって重要になって来たのです。 それで，小規模なプロセスを研究する事によって何か提供できたらと 思います。最低のコストで作る事が最終的な目標です。

それで，以下の材料は厚さ2 - 30 nmを石英マイクロ量り(QCM)で測定して，薄膜を作って来ました。特許出願中の方法では「SPI スパッタ・コーター」や「ガタン PECS システム」装置を使いました:

非金属:

炭素, けい石

金属:

金, 白金, パラヂウム, 60-40 金-パラジウム, 銀^*, オスミウム^*

^*表面の酸化物が電子線回折やエックス線光電子分光をする事を探し当てました。

酸化金属:

銅, アルミニウム, チタン, ニッケル

注：金属の2-3 nm以下では固まります。しかし，非金属と酸化金属はもっと暑く作らないと壊れ易かったです。