Vue d'Ensemble

Des exemples de traitement

La technologie pour produire les couches transparentes aux faisceaux d'électrons a été établie avant que l'invention du microscope électronique lui-même, car il y avait un désir fort de prouver la nature ondulatoire de l'électron.  Cependant, comme la nano technologie est devenue un facteur commercial important, satisfaisant la demande des produits cosmétiques, alimentaires et des médicaments, des marchandises sportives, des textiles, et des produits pour l'industrie de semi-conducteur, je crois que la nécessité de fournir un support facil d'utilisation pour analyser des processus à l'échelle nanométrique ou en dessous du nanomètre deviendra importante.  La fabrication de ces substrats d'une façon économique, si c'est possible, est une pas vers ce but.

Il y a quelques années, j'ai réussi la mise au point du procède de fabrication des matériaux d'environ 2 à 30 nm d'épaisseur, fondé sur le contrôle in situ du dépôt avec une microbalance à cristal de quartz, employant soit un système SPI de pulvérisation soit un dispositif Gatan PECS, en utilisant le même procède du brevet soumis (pas encore public):

Non métaux:

Carbone, Silice

Métaux:

Or, Platine, Palladium, 60-40 Or-Palladium, Argent*, Osmium*

* Des oxydes surfaciques ont été trouvés par diffraction d'électrons ou par spectroscopie de photoélectrons par rayons X

Oxydes de Métal:

Cuivre, Aluminium, Titane, Nickel

Notez que, tandis que les métaux sont stables en dessous de l'épaisseur de 2 – 3 nm, les non-métaux et les oxydes de métal étaient plus fragiles sauf aux épaisseurs plus grandes