产品说明

过程实例

由于人们很想证明电子的波状性质，所以制备透射电子薄膜的技术远早于透射电子显微镜的发明。 鉴于纳米技术已经在商业界成为一种强大的力量，广泛应用于化妆品，食品与药物，体育用品， 纺织，半导体等行业，我相信提供一个方便的平台用于纳米尺度或低于纳米尺度的过程分析很重要。 低成本生产这些透射电子薄膜衬底便是迈向这个目标的一步。

过去我已经依照专利，使用SPI的溅射镀膜机或Gatan的蚀刻镀膜机( PECS )成功地制备了下列材料，石英晶体微天平( QCM )实时监测厚度约2-30纳米：

非金属：

碳，硅

金属：

金，铂（白金），钯，60-40金钯合金，银^*，锇^*

^*电子衍射图或 X射线光电子光谱发现表面有金属氧化物

金属氧化物：

铜，铝，钛，镍

注: 虽然人们发现低于2-3 nm的金属仍然很稳定,但是此厚度的非金属及金属氧化物的脆性却很强(厚度高时除外)。